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请问「光掩膜」是什么意思?

2026-07-11 21:07:00

「光掩膜」读音

拼音 guāng yǎn mó,注音 ㄍㄨㄤ ㄧㄢˇ ㄇㄛˊ

拼音字母guang yan mo
拼音首字母gym
注音符号ㄍㄨㄤ ㄧㄢ ㄇㄛ
注音首符号ㄍㄧㄇ

「光掩膜」释义

扩展释义 在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到晶圆(wafer)制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的一部分,也是限制最小线宽的瓶颈之一。

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