请问「晶圆」是什么意思？
2026-07-10 12:45:53
「晶圆」读音
拼音 jīng yuán，注音 ㄐㄧㄥ ㄩㄢˊ
| 拼音字母 | jing yuan |
|---|---|
| 拼音首字母 | jy |
| 注音符号 | ㄐㄧㄥ ㄩㄢ |
| 注音首符号 | ㄐㄩ |
「晶圆」释义
扩展释义 晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
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